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碳化硅中的主要化學(xué)成分

根據國家標準,綠色碳化硅磨料的SiC含量略高于黑色碳化硅磨料。然而,我們不能斷定綠色碳化硅晶體中的碳化硅含量一定高于黑色碳化硅。碳化硅磨料的主要成分是SiC,含量通常在95%~99.5%之間,其余為雜質(zhì)。碳化硅的化學(xué)成分也隨其粒度而變化。磨料粒度越細,碳化硅含量越低。事實(shí)上,黑色碳化硅晶體的SiC含量高于綠色碳化硅晶體的SiC含量是很常見(jiàn)的。純碳化硅是無(wú)色透明的晶體。然而,無(wú)色透明的碳化硅晶體不一定是碳化硅成分中最高的,因為它通常含有更多的二氧化硅。工業(yè)碳化硅通常含有2%的雜質(zhì),主要有:
a、硅:當二氧化硅的化學(xué)成分過(guò)量時(shí),電阻爐中有致密的硅,可以發(fā)現大塊不純的晶體硅。有時(shí),停機后的不當操作會(huì )分解碳化硅表面的碳和硅,并與二氧化硅一起存在于碳化硅晶體表面。
b、鐵:當爐料中含有較多雜質(zhì)鐵時(shí),或二次產(chǎn)品碳化硅濃縮時(shí),爐料局部含有較多雜質(zhì)鐵,導致碳化硅晶體表面出現紅色或黃色氧化鐵。一些鐵還以碳化物的形式存在于碳化硅晶體中。
c、碳:部分碳能以固溶體的形式溶解在晶體中,部分碳能與其他金屬雜質(zhì)形成金屬碳化物。
除上述四種雜質(zhì)外,還有鋁、鈣、鎂等雜質(zhì)。它們可以以簡(jiǎn)單的狀態(tài)溶解在晶體中,也可以與碳形成碳化物或與硅形成合金。

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